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第五十二章 追光行动（2）（第4页）

而后，他们的目光不约而同地转向了台前的少年，等待着他的下一步发言。

在这群人中，大王先生资历最老，江湖地位也最高。

84岁的他首先开口，声音中透露出一丝亢奋，

“小卿，有话直说，要怎么安排，怎么进行，你直接吩咐就是了。”

大王先生的这句话，相当于代表在场的所有人进行了表态。

卿云心中感激，他对着所有大佬鞠了一躬，然后看向了那位主持了前两代光刻机研发的徐端颐。

“徐老，”卿云的目光中带着一丝期待，“您是浸淫此道多年的老前辈，我想请问您，有没有把握根据资料对浸润式光刻机进行研发？”

徐端颐没有急着回答，他闭目思索了良久，会议室里的气氛也随着他的沉默而变得紧张起来。

虽然他们都是搞这行的，但半导体是个庞大的系统工程，术业有专攻，要说起光刻机的研发，还得看这位老爷子。

终于，徐端颐缓缓睁开了眼睛，他的声音中带着一丝沙哑：“有把握，但是……这不解决根本问题。”

此言一出，会议室里的气氛顿时凝重起来。在座的每一位都是半导体领域的专家，他们当然明白徐端颐所说的‘根本问题’指的是什么。

表情怪异的黄令仪紧随其后的开了口，“小卿，这份资料非常的重要，对我们国家来说，完全可以说是无价之宝。

但是……”

徐端颐接过她的话头继续说着，“小卿，一台光刻机，我们进行拆分，大致分为光源系统、照明系统、投影物镜系统、双工件台系统、以及光罩与晶圆传输系统、调平调焦系统、对准系统七个子系统。

光刻机性能的三大评价指标是分辨率、套刻精度、和产率，这是一整套极严苛的环境控制、整机控制以及整机软件分析系统。

可以说光刻机的每一个子系统都在挑战人类工程的极限。”

他惋惜的叹了口气，“我的意思是，只有这套图纸，是不够的。我们差的……不是一点半点，甚至很多领域，我们的现状是近乎为零。

坦率的说，给我图纸，给我一年半载，我能造出来，但没法用，你明白吗？”