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第二百四十三章 知其然而不知其所以然(第5页)

一旦超过这个温度,随着温度的升高,沉积速度反而下降同时,杂质B、P化合物,随着温度的增高,其还原量也将加大,这将降低多晶硅的质量。

产量、良品率20年内最优解的温度,其实是1137°。

而且他还知道为什么张惠国和汉斯猫的工艺是控制在1100°。

他毕竟是个重生者,心里面其实透亮的。

之所以还原炉的遮热罩材料是石英玻璃,是因为老外试验出来的多晶硅还原炉的工作理想温度范围在1100°C左右。

而随着工艺的提升和纯度的要求,这个最优温度是在慢慢向上走的。

在改良西门子法第一代当时的工艺条件下,也就是上世纪60年代左右的时候,1100°高温下硅和氯化氢的反应生成多晶硅的速率较高。

而当初可用的材料里,石英玻璃刚好能够达到这个参数要求,且能够满足耐腐蚀性。

于是才是石英玻璃,于是才是1100°。

张惠国是完全复刻的第一代改良西门子法,期间有改动,但只是小改动,所以这个温度是适合的。

这就是‘其所以然’。

但是,科研永远都在寻路。

有了一条路后,需不需要去找一条更快的路?

在现实生活中,大家都明白,要想抵达一个目的地,从来都不是只有一条路的。

且不说什么原路线的截弯取直情况了,陆路可以,水路行不行?

就算没有水路,那么技术条件具备后,至少也应该有空中飞行方式。

解决还原炉材料的问题,也是如此。

老外当初造的时候,并没有00Cr12Ni10MoTi马氏体时效不锈钢这种材料。

这一串看似乱码数字字母的不锈钢,具有良好的强韧性匹配和耐腐蚀性能,能应用在航空航天、海洋建设和压力容器制造等领域。

同时,它拥有比普通低碳不锈钢更耐高温的特点。

这是改良西门子法下多晶硅还原炉后面几个阶段的版本答案。

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