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“第一,纳米片晶体管(GAAFET)的刻蚀控制。
我们对纳米片叠层的精度、栅极环绕的控制,极其不稳定,这是良率波动的主要来源之一。”
“第二,高介电常数金属栅极(HKMG)的堆叠精度和均匀性。
新材料的热预算和界面态极其敏感,均匀性偏差导致阈值电压(Vt)漂移严重。”
“第三,也是最致命的,”他的语气几乎带着一丝绝望。
“极紫外(EUV)光刻技术的应用调试。
EUV光源的功率、稳定性,以及配套的光刻胶、掩膜版技术,全部受到最严格的限制,获取极其困难,调试进度几乎停滞。
没有稳定可靠的EUV光刻,很多关键的精细结构无法实现,良率和性能都无从谈起。”
他指着图表上那个刺眼的数字:
“目前MPW试产的综合良率......仍然在25%-30%的区间剧烈波动,最低甚至探至18%。
而且,波动没有收敛的趋势。
姚总,这个良率,对于单颗成本就高达数十美元的高端旗舰芯片来说,是商业上无法接受的。”
会议室的温度仿佛瞬间降到了冰点。
25%-30%且不稳定的良率,意味着超过三分之二的芯片是废品,这不仅是成本的灾难,更是量产交付的噩梦。
孟良凡的面色也无比凝重。
他双手交叉支在桌上,身体前倾,沉声道:
“N+1的困境,是基础物理学、材料科学和精密工程极限的综合体现。
这堵墙,靠工艺团队硬撞,代价太大,进度也无法保证。”
他再次将目光投向陈默,这次带着更深的期待和恳求。
“陈总,我们恳请开辟第二战场。
设计端和工具链必须承担更多责任。
现有的EDA工具,在应对N+1这样逼近物理极限的工艺时,已经显得力不从心,更别说再往后的N+2工艺了。
我们迫切需要工具链的再次革命。”
他语速加快,列举出痛点:
“我们需要能进行原子级器件建模的工具,能精确模拟掺杂原子分布对性能的影响;
我们需要多物理场仿真平台,能耦合计算热、电、应力之间的相互效应;
我们需要更强大的计算光刻(OPC)软件,以补偿EUV光刻带来的复杂光学邻近效应;
我们还需要基于大数据的良率预测与优化系统,能在设计阶段就预测出芯片的薄弱环节。
否则,我们设计出来的东西,就像是建立在流沙上的城堡,根本没法在现实的、不完美的工艺里被可靠地制造出来!”
这番尖锐而专业的需求,将所有压力和责任清晰地传递到了陈默和他的EDA团队身上。
面对孟良凡几乎一波又一波的挑战和全场聚焦的压力,陈默没有表现出丝毫的慌乱或防御姿态。
他缓缓坐直身体,目光平静地迎向孟良凡,然后扫过全场,最后落在自己面前的电脑上。
“孟教授提出的问题,正是我们EDA产品线过去一年,投入超过70%研发资源全力攻坚的方向。
也是我们理解的,打破僵局的关键。”
陈默的声音沉稳有力,显得很自信。
“工具链的升级,对我们而言,不是锦上添花,而是从‘辅助’走向‘驱动’和‘赋能’的战略转变。
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